导言
光波导是一种应用于集成光学、光纤通信、激光技术等领域的微型光学结构。它的工作原理是全反射,确保光的传输没有任何损失或散射。透明晶体,包括铌酸锂,氟化钙,YAG等,具有明显的优势,例如高透光率,热稳定性和低泵浦阈值。考虑到这些优点,透明晶体的结合对于各种光学系统的构造是必不可少的。在晶体中制造波导结构是增强晶体的光学性能并扩展其在光子学领域中的应用的重要方法。在透明晶体中制造光波导对于集成光子学领域至关重要。根据不同晶体的光学特性,具有不同功能的微器件,如光栅,分束器、光放大器、波导激光器、转换器、耦合器、检测器、和量子存储设备,可以制备基于光波导的构造。超短飞秒激光脉冲和非热能沉积能够有效地限制聚焦体积内的非线性相互作用,高质量的三维微、纳米加工。该技术可以应用于广泛的材料,包括电介质、半导体和金属。在光子结构/器件/系统的多功能化的当前趋势中,介电晶体因其不同的晶体结构和光学性质而脱颖而出。飞秒激光直写技术已经很好地发展用于柔性几何光波导和基于各种电介质晶体的基于功能波导的光子器件。传统的光波导制作方法在实现复杂的三维结构和多功能集成方面存在局限性,而飞秒激光微纳加工技术为解决这些问题提供了新的途径。除了传统的波导结构,飞秒激光器的三维纳米制造与介电晶体的多功能性相结合,为具有超越光学衍射极限的特征的新型光子结构的未来发展提供了新的希望。例如,在非线性光学、集成量子光子学和集成光子学领域,对具有特定功能和精细结构的光子器件的需求日益增加。这种需求推动了对晶体波导写入中的飞秒激光器的研究。因此,在透明晶体中制造光波导一直是研究界的焦点。
用于在透明晶体内制造光波导的主要方法包括金属离子扩散,离子交换,离子注入,化学气相沉积,外延生长,和飞秒激光直写。金属离子扩散法需要在高温环境下操作,这影响了波导的可靠性,并对晶体施加了一定程度的选择性。通过离子交换方法可以实现的折射率的变化范围是有限的,这阻碍了具有优异光学性能的光波导的制造。尽管离子注入技术具有经济优势和广泛的适用性,但其在二维和三维波导制造中的应用被排除在外。此外,晶体的材料特性不可避免地影响加工结果。化学气相沉积所需的高温条件已显示出对所得波导的稳定性有一定影响。使用外延生长方法制造波导是一个复杂的过程,并且精确控制外延层的厚度是具有挑战性的。这不利于制造具有优异光学特性的波导结构。飞秒激光直写技术是微制造技术的关键组成部分。由于超短脉冲宽度,它可以在特定位置实现热效应小的高精度加工。此外,它允许在晶体内精确聚焦,以实现真正的三维在线处理。飞秒激光的超高峰值功率是多光子吸收、隧穿电离、电子雪崩等一系列非线性相互作用发生的先决条件。飞秒激光直写技术的材料选择性如此广泛,以至于它适用于在几乎任何晶体材料中制备波导结构。该技术的高灵活性消除了对掩模或涂覆工艺的需要,并且直接写入结构的灵活设计极大地简化了制备复杂光学元件结构的工艺。由于这些优点,飞秒激光直写技术成为制备多维波导结构的最佳选择,在集成光学、量子光学、和生物光子学。自从戴维斯的开创性工作以来等。1996年,飞秒激光直写技术已广泛用于在透明晶体中制造各种类型的通道化波导的研究。这一发展为未来新型波导结构及其各种应用的研究奠定了坚实的基础。晶体波导近年来取得了显著进展,基于飞秒激光微纳加工技术的晶体波导研究呈现出多元化、多功能化的发展趋势,在许多领域具有巨大的应用潜力。飞秒激光微纳制造技术可以直接定义具有三维几何特征和定制光子功能的按需纳米结构,适用于各种材料,包括电介质,半导体和金属。飞秒激光直写具有柔性几何形状的光波导和基于功能波导的光子器件也得到了很好的发展。在集成量子光学领域,张等。使用飞秒激光写入Er3 +: 林波3波导实现多模量子存储,与单模相比,一致性检测率提高了167倍。这对于大量集成光子器件的开发非常有前途。在非线性光学领域,王等。在铌酸锂晶体薄膜波导上实现了二次谐波产生 (SHG),转换效率高达5540% W− 1 厘米− 2通过模态相位匹配,为片上高性能光学器件的发展注入新的活力。
近年来,飞秒激光直写技术已被用于在透明晶体中制造波导结构。然而,透明晶体中波导的形成机理和应用尚未全面综述。本文探讨了飞秒激光在透明晶体介质中直接写入波导的机理,并对不同类型的波导进行了分类和总结。此外,还总结了波导在波导激光器,量子存储器和量子芯片中的应用。使用飞秒激光直写在透明晶体内制备不同类型的波导结构的示意图如图所示图一。本文旨在为使用飞秒激光直写技术制造高质量的波导结构提供新的见解。
飞秒激光直接在透明晶体内部写入波导结构的示意图。(a) I类修改。(b) II类修改。(c) II型改性下的凹陷包层。(d) 光子晶体波导。
飞秒激光在透明晶体介质中波导感应的基本原理
非线性吸收机制
飞秒激光通过物镜产生紧密聚焦的光焦点后,光学焦点转移到晶体材料内部。在对材料施加高强度激光束之后,发生多光子电离或隧道电离的过程,导致电子与原子分离。该过程在晶体内产生大量的自由电子。飞秒激光器具有非常高的峰值功率,并且在高光强度下,产生自由电子的过程可以在没有特定阈值的情况下完成。飞秒激光脉冲与先前产生的自由电子连续相互作用,通过逆致辐射吸收增加其能量。此外,光子的吸收增加了自由电子的动能。一旦积累了足够的动能,剩余的束缚电子就会被激发,从而通过碰撞过程促进能量向束缚电子的转移。结果,束缚电子克服了电离电势。激发其他电子的能量吸收过程称为碰撞电离。该过程的特征在于自由电子的连续积累,直到达到阈值密度,此时发生雪崩电离,产生热的致密等离子体。已经证明,晶体的特定区域以更猛烈的方式吸收飞秒激光脉冲能量。37一旦自由电子的密度达到峰值并超过临界阈值,内部晶体就会受到所谓的库仑爆炸的破坏或烧蚀。因此,内部晶格和性质在激光照射后发生变化。38重要的是要注意,激光直写的过程伴随着热效应。过度的热效应已被证明会导致波导结构的膨胀。这又被证明会导致细微的结构变形。这对波导的光传输性能具有不利影响。相反,热效应可能引起热应力,这可能导致波导结构中的微裂纹。已证明,微裂纹的存在会导致波导结构的光学性能下降,从而影响其整体稳定性。与皮秒和纳秒激光器相比,飞秒激光器提供与晶体的减少的相互作用时间,以及减少的热积累。飞秒激光器主要在激光作用区域内工作,在聚焦区域附近具有最小的热影响。与皮秒和纳秒激光器相比,该特性使飞秒激光器在波导的制造中具有明显的优势。
激光在透明晶体中的折射率诱导改性
当激光脉冲聚焦到介质中时,脉冲的传播主要受三阶非线性偏振和光克尔效应的影响,其动力学过程极其复杂。光束的自聚焦效应增加了轴向强度,并且在脉冲传播过程中,由强场电离产生的等离子体引导光束散焦并从脉冲中吸收能量。自聚焦和散焦效应影响脉冲到达焦点的点处的激光能量密度的空间分布。通过改变引起的参数,例如脉冲能量和重复频率,可以实现两种不同的折射率修改。在一种修改中,由飞秒激光器在选定焦点位置处提供的脉冲能量如此低,以至于仅会发生弱损伤。这种损坏导致晶格结构的轻微改变,破坏了晶体的固有对称性。经受飞秒激光照射的材料经历小程度的熔化,导致材料的球形体积。在快速冷却过程之后,外部区域处于低密度状态,并且内部区域经受压力诱导的冷却。这导致诱导改性区域的折射率的正变化。这种变化是不稳定的,并且在某些晶体中,这种对折射率的改变通过加热而降低或甚至消除。另一种方法涉及增加飞秒激光能量,这会导致聚焦区域的非线性吸收。当通过电子-声子耦合和缺陷形成将足够的能量沉积到材料中时,会发生永久性损坏。材料内部区域的应力场导致不可逆的晶格损伤,激光在材料中诱导出细线。线区域中某些晶格结构的扩展会导致折射率的负变化。43第二种类型的诱导改性与晶格的高度变化有关。虽然诱导线结构具有低折射率,但它不能实现光引导的功能。靠近轨道的区域的折射率由于应力而增加,并且这两个因素的组合在引导光中起作用。与第一类改性相比,这类改性表现出寿命的显著增加,并且高度的晶格损伤使这种II型改性在常规条件下能够持续很长时间,而不会削弱其结构和光学性能。
与上述两种修改相反,通常使用飞秒激光微加工技术来制备脊波导。在使用离子注入技术的先前示例中,将微机械加工工艺应用于飞秒激光脉冲能量超过材料的烧蚀阈值的表面,并且烧蚀发生在特定位置。44选择的飞秒脉冲激光参数影响诱导结构的尺寸和形态,而脉冲能量和脉冲持续时间影响诱导修饰的类型。脉冲能量重要用于损坏轨道的形成,光束自聚焦效应的产生,和强烈的修改感应。极高的功率密度会导致晶体中的非线性吸收,从而确保在直写过程中晶体中不会产生过多的热量。这避免了裂缝、断裂和熔化的形成。
(1)在这里,n0是线性折射率,n2是非线性折射率,并且λ是激光波长。假设光束形状是高斯的。当飞秒激光脉冲的峰值功率高于Pc右我t,等离子体自聚焦效应发生,损伤轨道在光束传播方向上伸长。相反,当它低于Pc右我t,等离子体散焦,并且当等离子体接近Pc右我t,它自发地实现自聚焦和散焦,以实现自发的多聚焦,这对于I型和II型修改是有利的。
波导类型
..........
文章出自:DOI: 10.1063/5.0280348。
注:文章版权归原作者所有,本文内容、图片、视频仅供交流学习使用,如涉及版权等问题,请您告知,我们将及时处理!