答：准分子激光器是以惰性气体和卤素气体的混合气体为工作物质的气体激光器。通过高压电容在短时间内迅速放电的方式进行激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时,受激态的能量以激光辐射的形式放出。

答：准分子激光输出都处于紫外波段，最常用的波长有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351nm。

答：准分子激光的用途十分广泛，可分为工业领域和医疗领域。

  l工业领域：

 1.半导体光刻；

 2.准分子激光精密微加工；

 3.脉冲激光沉积等镀膜设备的激发源；

 4.光谱、质谱等分析仪器的激发源；

  l医疗领域：

 1.准分子激光角膜切削术；

 2.冠脉血栓消融术（ELCA）；

 3.治疗白癜风、银屑病和过敏性皮炎。

答：准分子激光由于波长短、光子能量大、平均功率高、相干性较弱等特点，是非常好的激光加工光源，可以对绝大多数物质进行无热效应的“冷”加工，既可以实现高分辨的芯片光刻，也可以对高分子等材料进行深度刻蚀。大多数聚合物在紫外波长的吸收都非常强烈，因此准分子激光加工高分子材料的效率很高。

问：准分子激光在平板显示领域的主要应用？

答：准分子激光退火技术（ELA）采用308 nm准分子激光将非晶硅薄膜转变成高质量多晶硅薄膜，提高TFT（薄膜晶体管）性能。308 nm准分子激光可以将玻璃基板上的透明柔性显示电路进行剥离。