产品型号：

       FS 系列

产品描述：

       FS 系列 光纤飞秒激光微加工系统是应用于科研 / 工业领域的飞秒激光微加工系统。飞秒激光精密微加工系统，采用脉冲宽度特别短的超快激光器。飞秒激光脉冲拥有独特的材料加工特性，其加工孔径的熔融区很小或者没有；可以实现多种材料，如金属、半导体、透明材料内部甚至生物组织等的微加工、雕刻；加工区域可以小于聚焦尺寸，突破衍射极限；能用于切割易碎的聚合物，而不改变其重要的生物化学特性等。

应用范围：

       ※ 石英 / 蓝宝石 / 玻璃 / 金刚石等透明材料切割，钻孔，雕刻；

       ※ 陶瓷 / 金属材料的切割，钻孔；

       ※ 高分子材料消融；

       ※ 薄膜选择性去除；

       ※ 激光烧蚀，用于 ICP-MS 分析；

       ※ 光纤光栅 / 光纤传感；

       ※ 双光子聚合；

       ※ 量子芯片、量子行走；

       ※ 5D光存储；

       ※ 玻璃封装焊接；

       ※ MEMS微纳器件制造；

       ※ 双光子、多光子聚合；

特点：

      1、全材料加工：无论超硬材料、脆性材料、柔性材料；无论金属、非金属、高分子材料；无论透明不透明材料均可加工。

      2、机器视觉：采用集成化软件对系统所有硬件进行控制，客户可以实现所见即所得。应用高清晰度的 CCD 作为成像元件，并采用自动聚焦的机器视觉系统，客户可以根据软件界面所显示的区域进行加工设置，并能够直接看到加工效果。

       3、集成化软件：自主研发的集成化软件，可以方便地控制系统工作参数和监控工作状态。客户可以自主设计所需加工图样，并生成加工文件。软件驱动系统硬件全自动化进行加工过程，并全程可视。

       ※ 可视化编程；

       ※ 用户界面友好、直观；

       ※ 支持 BMP、DXF、STL 文件格式；

       ※ 所见即所得，轨迹预览；

       ※ 支持多轴联动控制。

选配件：

       1、激光器：飞秒激光器（800、400、266nm；1028、514、343、257nm可选）各种光纤飞秒激光器;

       2、位移台：尺寸50-2000mm，精度从±75nm-10μm可选，气浮、5轴联动（可加工自由曲面）;

       3、振镜：可高速加工大尺寸样品;

       4、各种光束整形器件：S波片、空间光调制器、贝塞尔光束、高斯转平顶等;

       5、流水线：可定制工业流水线、机器人、机械臂;

       6、自动聚焦：可定制自动聚焦、自动定位、自动对准、自动识别、图像测量等图像功能。