准分子激光光纤光栅刻写系统
准分子激光掩模板法可用于刻写多种光纤光栅，例如普通光栅、 强／弱阵列光栅、 啁啾光栅，特别是高功率光纤激光器用光纤光栅。光纤激光器使用一对高反射和低反射 FBG 组成谐振腔，为了获得稳定的高功率激光输出，对 FBG 的反射率、 带宽和边模抑制要求都很高，此类 FBG基本采用大模场双包层光纤，准分子相位掩模板法刻写光纤激光器专用光纤光栅对是很好的选择。
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准分子激光掩模板法可用于刻写多种光纤光栅，例如普通光栅、 强／弱阵列光栅、 啁啾光栅，特别是高功率光纤激光器用光纤光栅。光纤激光器使用一对高反射和低反射 FBG 组成谐振腔，为了获得稳定的高功率激光输出，对 FBG 的反射率、 带宽和边模抑制要求都很高，此类 FBG基本采用大模场双包层光纤，准分子相位掩模板法刻写光纤激光器专用光纤光栅对是很好的选择。
应用：
1、高性能光纤激光器;
2、弱/强反射阵列光栅;
3、周界、 安防系统的光纤传感网络;
4、铁路、 隧道、 油井等设施的安全监控;
5、航空航天、 海洋和医疗;
6、新能源电池模块温度监控;
特点：
1、高质量、高可靠性；
2、波长、带宽和反射率等参数控制精度高；
3、波长选择范围大、带宽宽窄可选；
4、高边模抑制比、损耗低；
5、可以制备用于高功率激光腔镜的光栅；
6、可根据用户需求定制；
7、可以提供温控装置，确保波长的精确对准和调谐；
8、系统搭建简单；
9、效率高，支持大批量生产；
10、系统稳定，维护成本低；
11、容易进行中心波长的调整和控制；
12、适合工业化生产；
13、容易刻写任意反射率的光栅；
总体示意图：
Mlase准分子激光器：
采用德国Mlase准分子激光器作为光源，能量输出稳定，光束质量好，有较短脉冲宽度和较高峰值功率。免维护设计，使用简便、安全、稳定、高效。
Mlase准分子激光器参数：
气体介质 | ArF/KrF |
波长 | 193nm/248nm |
最大重复频率 | 200Hz/500Hz/1000Hz |
最高单脉冲能量-标准型 | 8mJ/12mJ |
最高单脉冲能量-高功率型 | 12mJ/16mJ |
稳定单脉冲功率 | 1.2W、3W、6W/2W、5W、10W |
能量稳定性 | ≤2% |
光斑尺寸 | 6x3mm |
光束发散角 | 2x1mrad |
脉冲宽度 | 5-10ns/5-15ns |
激光腔寿命 | 大于20亿次脉冲 |
制冷方式 | 风冷/水冷 |
准分子激光光纤光栅刻写系统硬件：
| 推荐厂家
| 主要指标 | 数量 |
反射镜 | CVI | 45° HR | 3片 |
长程位移台 | KOHZU | 100mm 行程、驱动器 | 2套 |
拉力计 | SHIMPO | 数显、0.01N | 1套 |
手动调整架 | KOHZU | 2套6轴台加光纤夹具2套3轴台 | 1套 |
机器视觉 | 准源定制 | >500万像素 | 1套 |
光束整形模块 | 准源定制 | 三柱镜+掩模板系统 | 1套 |
衰减器 | 准源定制 | 电动10-80% | 1套 |
切趾光阑 | 准源定制 | 定制切趾函数 | 1套 |
大理石+面包板+结构框架 | 准源定制 | 大理石龙门架结构，全封闭推拉式开启保护罩 | 1套 |
光学平台1 | 准源定制 | 1500mm | 1套 |
光学平台2 | 准源定制 | 900mm | 1套 |
软件 | 准源定制 | 基于win7及以上版本 | 1套 |
